تطبيقات أشباه الموصلات الحرجة
تدعم أنظمة توليد النيتروجين لدينا عمليات تصنيع أشباه الموصلات الأكثر تطلبًا.
تصنيع الويفر
نيتروجين فائق-عالي النقاء لمعالجة الرقاقات وتنظيفها ومناولتها لمنع الأكسدة والتلوث أثناء خطوات التصنيع الحرجة.
ترسيب البخار الكيميائي (CVD)
أجواء نيتروجينية-عالية النقاء لعمليات الأمراض القلبية الوعائية، مما يضمن ترسيبًا دقيقًا للأغشية الرقيقة دون تدخل الأكسجين أو الشوائب.
النقش بالبلازما
أجواء النيتروجين الخاضعة للرقابة لعمليات الحفر بالبلازما، والحفاظ على نقل النمط الدقيق ومنع الأكسدة غير المرغوب فيها.
إنحسر لحام
أجواء نيتروجين خاملة لإعادة تدفق اللحام في تعبئة وتجميع الرقائق، مما يقلل الأكسدة ويحسن جودة وصلة اللحام.
يموت الترابط
تغطية النيتروجين أثناء عمليات ربط القوالب لمنع الأكسدة وضمان الالتصاق الأمثل في عمليات تعبئة أشباه الموصلات.
ضغط الغرفة النظيفة
نيتروجين عالي النقاء- لضغط الغرف النظيفة وتطهيرها، والحفاظ على بيئات خالية من التلوث-وهو أمر بالغ الأهمية لتصنيع أشباه الموصلات.
لماذا تختار -إنشاء النيتروجين في الموقع
تخلص من تبعيات سلسلة التوريد وقلل التكاليف من خلال إنتاج النيتروجين الموثوق به في-الموقع.
فائقة-درجة نقاء عالية
حقق نقاء النيتروجين بنسبة تصل إلى 99.9999% من خلال تقنية PSA المتقدمة وأنظمة التنقية الاختيارية، التي تلبي معايير صناعة أشباه الموصلات الأكثر صرامة.
تخفيض التكلفة
يمكنك تقليل تكاليف النيتروجين بنسبة تصل إلى 90% مقارنة بتوصيل النيتروجين السائل، مع تحقيق عائد استثمار سريع عادةً خلال 12-24 شهرًا لعمليات أشباه الموصلات ذات الحجم الكبير.
العرض المستمر
تخلص من انقطاعات الإمداد وتأخير التسليم من خلال توليد النيتروجين على مدار 24 ساعة طوال أيام الأسبوع-عند الطلب، مما يضمن إنتاج أشباه الموصلات دون انقطاع.
التحكم في العمليات
حافظ على تحكم دقيق في نقاء النيتروجين، ومعدل التدفق، والضغط باستخدام أنظمة التحكم المتقدمة المعتمدة على PLC- والمراقبة-في الوقت الفعلي.
تعزيز السلامة
القضاء على المخاطر المرتبطة بمعالجة وتخزين النيتروجين السائل المبرد، وتحسين السلامة في مكان العمل في مرافق أشباه الموصلات.
قابلية التوسع
يمكنك بسهولة زيادة سعة إنتاج النيتروجين مع توسع عمليات تصنيع أشباه الموصلات لديك، دون قيود البنية التحتية.
المواصفات الفنية
تم تصميمه لضمان الدقة والموثوقية في بيئات تصنيع أشباه الموصلات.
مستويات النقاء
- درجة نقاء عالية قياسية: 99.999% (5N) لتطبيقات أشباه الموصلات العامة
- درجة نقاء فائقة-: 99.9999% (6N) لعمليات تصنيع الرقائق المهمة
- تنقية Deoxo اختيارية لمستويات الأكسجين<0.1 ppm
- مراقبة النقاء المستمر مع محلل الأكسجين
مواصفات النظام
- معدلات التدفق: 10-2000 نيوتن متر مكعب/ساعة (قياسية)، القدرات الأعلى المتاحة
- ضغط التشغيل: 4-10 بار (جم)، قابل للتخصيص لمتطلبات محددة
- نقطة الندى: -40 درجة إلى -70 درجة (مع أنظمة تجفيف اختيارية)
- تحكم قائم على PLC- مع شاشة HMI تعمل باللمس وتسجيل البيانات
الميزات المتقدمة
- التشغيل التلقائي مع الحد الأدنى من الإشراف المطلوب
- القدرة على المراقبة والتشخيص عن بعد
- وقت بدء التشغيل السريع من 15 إلى 20 دقيقة
- تشغيل فعال للطاقة- مع استهلاك منخفض للطاقة
الامتثال والمعايير
- شهادة التصنيع ISO 9001:2015
- يفي بمعايير SEMI لمعدات أشباه الموصلات
- تصميم ومواد متوافقة مع الغرفة النظيفة
- التوثيق الشامل ودعم التحقق من الصحة
بالإضافة إلى مولد النيتروجين psa، فإننا ننتج أيضًا مولدات الأكسجين VPSA، ومولدات الأكسجين PSA، وصهاريج التخزين، والمبادلات الحرارية وغيرها من المنتجات. إذا كنت مهتمًا بأنظمة النيتروجين psa أو غيرها من المنتجات، فلا تتردد في إرسال بريد إلكتروني إلىsales@gneeheatex.com. سنكون سعداء جدا لخدمتك.
